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subject 영남대 대학원생 반도체 신소재 개발

영남대학교는 신소재공학과 석사과정에 재학 중인 천태훈(29)씨가 반도체 공정의 단계를 획기적으로 줄일 수 있는 새로운 소재를 개발했다고 3월 24일 밝혔다.

영남대에 따르면 천씨는 반도체 소자에서 구리 배선을 감싸고 있는 하부의 3개 층을 단 1개의 층으로 대체할 수 있는 신소재 'RuAIO'를 개발했다.

천씨가 개발한 신소재는 기존 반도체 소자의 크기를 극소화할 수 있을 뿐만아니라 성능을 향상시키고 저항까지 줄일 수 있는 것이라고 대학측은 설명했다.

이번 연구결과는 지식경제부가 주관하고 있는 '산업원천기술 개발과제'의 하나인 초미세ㆍ고신뢰성 배선 기술 개발과제를 수행하던 중에 나온 것이다.

특히 천씨의 관련 논문은 이달 초 SCI급 국제저널인 'Electrochemical and Solid-state Letters'에 게재된데 이어 미국물리학회(American Physical Society)와 미국물리학학회(American Institute of Physics)에서 공동 발간하는 'Virtual Journal of Nanoscale Science & Technology'에도 실렸다.

영남대 관계자는 "이번 연구 결과는 성능과 집적도 향상을 위해 반도체 소자의 크기를 줄여나가는 과정에서 한계에 봉착해 있던 반도체 배선 공정에 숨통을 틔운 것"이라고 평가했다.

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